1.適用可能な狭ピッチとCCC
プローブ径(mm) |
0.076 | 0.0635 | 0.051 | 0.030 | 0.025 | 0.020 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
CCC | 1,110mA | 890mA | 640mA | 290mA | 220mA | 157mA | |
適用可能な狭ピッチ | 100μ | 85μ | 75μ | 50μ | 43μ | 36μ |
2. プローブ寿命 最大タッチダウン T/D = 4,000k
このT/D数値は、日本のデバイス顧客の工場で、先端径20μカンチレバープローブでの実績です。
電極パッドの材料はアルミでした。
3. 接触抵抗 < 0.5 Ω
径29μのロジウムピンを用いて行った、VPT原理実証試験における結果です。
4. BCF : 接触力とオーバードライブ (Balanced Contact Force)
プローブ径(mm) | 0.076 | 0.0635 | 0.0515 | 0.030 | 0.025 | 0.020 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
接触力 | 6 g | 4 g | 3 g | 2.5 g | 1.35 g | 1.0 g | |
オーバードライブ | 75 μ | 75 μ | 75 μ | 75 μ | 75 μ | 50 μ |
径0.051mmまではコブラの実績から推測。径0.030mm、0.025mmはComputer Simulationで設計。径0.020mmは推測。